真空步进电机直线平台

真空步进电机直线平台

真空步进电机直线平台：

真空直线平台是在真空环境下应用的真空直线平台或真空转台，但这种平台磁性较小或者没有，以实现在特殊真空实验中的应用。北京星微自动化科技有限公司提供的真空无磁平台可以实现-200℃到+200℃环境温度以及10-8Pa真空的应用。

• 行程： 50 to 250mm；

• 分别率：1um/步；

• 无回滞，刚性强；

• 承载能力：20kg；

• 可堆叠 XYZ三轴平台

• 真空：1 x 10-10 mBar；

• 烘烤温：200°C；

• 交叉滚子轴承；

• 防辐射： 1 x 106 Gy ；

• 可以根据客户要求定制；

• 规格	单位	LTVL	LTVH
  行程	mm	50/ 100 / 150 /200 /250	50/ 100 / 150 /200 /250
  整步分别率	μm	5	1
  velocity	mm/s	15	4
  推荐真空环境中速度	mm/s	2	0.8
  重复定位精度	μm	1	0.2
  水平负载能力	kg	20	20
  负载力矩	Nm	<5	<5
  轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A	kg	3	10
  间隙	μm	0	0
  转动, 俯仰 & 偏载 (无负载	μrad	<25	<25
  Roll Compliance	μrad/Nm	33	33
  Pitch & Yaw Compliance	μrad/Nm	33	33
  直线	μm	<1.3μm / 100mm	<1.3μm / 100mm
  使用步进电机		D35.1	D35.1
  真空	mBar	1 x 10-10	1 x 10-10
  temperature	°C	200	200
  MTBF (5kg负载和30%占空比)	hrs	15,000	10,000