真空步进电机模组价格
真空步进电机模组:
北京星微自动化科技有限公司代理英国AML真空步进电机丝杠平台的真空度可以达到1x10-8Pa,行程可达到250mm,精度可达0.1um,烘烤温度可达200℃,防辐射可以到10*6Gy,也可以定制真空电机平台。
行程: 50 to 250mm;
分别率:1um/步;
无回滞,刚性强;
承载能力:20kg;
可堆叠 XYZ三轴平台
真空:1 x 10-10 mBar;
烘烤温:200°C;
交叉滚子轴承;
防辐射: 1 x 106 Gy ;
可以根据客户要求定制;
规格 | 单位 | LTVL | LTVH |
行程 | mm | 50/ 100 / 150 /200 /250 | 50/ 100 / 150 /200 /250 |
整步分别率 | μm | 5 | 1 |
velocity | mm/s | 15 | 4 |
推荐真空环境中速度 | mm/s | 2 | 0.8 |
重复定位精度 | μm | 1 | 0.2 |
水平负载能力 | kg | 20 | 20 |
负载力矩 | Nm | <5 | <5 |
轴向力 @ 500Hz Iφ = 1A | kg | 3 | 10 |
间隙 | μm | 0 | 0 |
转动, 俯仰 & 偏载 (无负载 | μrad | <25 | <25 |
Roll Compliance | μrad/Nm | 33 | 33 |
Pitch & Yaw Compliance | μrad/Nm | 33 | 33 |
直线 | μm | <1.3μm / 100mm | <1.3μm / 100mm |
使用步进电机 | D35.1 | D35.1 | |
真空 | mBar | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 |
temperature | °C | 200 | 200 |
MTBF (5kg负载和30%占空比) | hrs | 15,000 | 10,000 |